ដំណើរការបន្សុទ្ធតេលូរីញ៉ូម 7N រួមបញ្ចូលគ្នានូវបច្ចេកវិទ្យាចម្រាញ់តំបន់ និងបច្ចេកវិទ្យាគ្រីស្តាល់ទិសដៅ។ ព័ត៌មានលម្អិតអំពីដំណើរការសំខាន់ៗ និងប៉ារ៉ាម៉ែត្រត្រូវបានគូសបញ្ជាក់ខាងក្រោម៖
១. ដំណើរការចម្រាញ់តំបន់
ការរចនាឧបករណ៍
ទូករលាយតំបន់រាងជារង្វង់ច្រើនស្រទាប់៖ មានអង្កត់ផ្ចិត 300–500 ម.ម កម្ពស់ 50–80 ម.ម ធ្វើពីថ្មក្វាតស៍ ឬក្រាហ្វីតដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។
ប្រព័ន្ធកំដៅ៖ ខ្សែរុំធន់ទ្រាំពាក់កណ្តាលរង្វង់ ជាមួយនឹងភាពត្រឹមត្រូវនៃការគ្រប់គ្រងសីតុណ្ហភាព ±0.5°C និងសីតុណ្ហភាពប្រតិបត្តិការអតិបរមា 850°C។
ប៉ារ៉ាម៉ែត្រសំខាន់ៗ
បូមធូលី៖ ≤1×10⁻³ Pa ពេញមួយស្រទាប់ ដើម្បីការពារអុកស៊ីតកម្ម និងការបំពុល។
ល្បឿនធ្វើដំណើរតំបន់៖ 2–5 ម.ម/ម៉ោង (ការបង្វិលឯកទិសតាមរយៈអ័ក្សបើកបរ)។
ជម្រាលសីតុណ្ហភាព៖ ៧២៥ ± ៥ អង្សាសេ នៅផ្នែកខាងមុខតំបន់រលាយ ត្រជាក់ដល់ <៥០០ អង្សាសេ នៅគែមខាងក្រោយ។
ឆ្លងកាត់៖ 10–15 វដ្ត; ប្រសិទ្ធភាពនៃការដកយក >99.9% សម្រាប់ភាពមិនបរិសុទ្ធដែលមានមេគុណបំបែក <0.1 (ឧ. Cu, Pb)។
២. ដំណើរការគ្រីស្តាល់ទិសដៅ
ការរៀបចំរលាយ
សម្ភារៈ៖ តេលូរីញ៉ូម 5N បន្សុទ្ធតាមរយៈការចម្រាញ់តំបន់។
លក្ខខណ្ឌរលាយ៖ រលាយក្រោមឧស្ម័ន Ar អសកម្ម (ភាពបរិសុទ្ធ ≥99.999%) នៅសីតុណ្ហភាព 500–520°C ដោយប្រើកំដៅអាំងឌុចស្យុងប្រេកង់ខ្ពស់។
ការការពារការរលាយ៖ គម្របក្រាហ្វីតភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ដើម្បីទប់ស្កាត់ការហួត; ជម្រៅអាងរលាយត្រូវបានរក្សានៅ 80–120 មីលីម៉ែត្រ។
ការគ្រប់គ្រងគ្រីស្តាល់
អត្រាលូតលាស់៖ ១-៣ ម.ម/ម៉ោង ជាមួយនឹងជម្រាលសីតុណ្ហភាពបញ្ឈរ ៣០-៥០°C/សង់ទីម៉ែត្រ។
ប្រព័ន្ធត្រជាក់៖ មូលដ្ឋានទង់ដែងត្រជាក់ដោយទឹកសម្រាប់ការត្រជាក់ដោយបង្ខំនៅខាងក្រោម; ត្រជាក់ដោយវិទ្យុសកម្មនៅផ្នែកខាងលើ។
ការបំបែកភាពមិនបរិសុទ្ធ៖ Fe, Ni និងភាពមិនបរិសុទ្ធផ្សេងទៀតត្រូវបានបង្កើននៅព្រំដែនគ្រាប់ធញ្ញជាតិបន្ទាប់ពីវដ្តរលាយឡើងវិញចំនួន 3-5 ដែលកាត់បន្ថយកំហាប់មកត្រឹមកម្រិត ppb។
៣. រង្វាស់ត្រួតពិនិត្យគុណភាព
ប៉ារ៉ាម៉ែត្រ ស្តង់ដារ តម្លៃ យោង
ភាពបរិសុទ្ធចុងក្រោយ ≥99.99999% (7N)
ភាពមិនបរិសុទ្ធលោហធាតុសរុប ≤0.1 ppm
មាតិកាអុកស៊ីសែន ≤5 ppm
គម្លាតទិសដៅគ្រីស្តាល់ ≤2°
រេស៊ីស្តង់ (300 K) 0.1–0.3 Ω·cm
គុណសម្បត្តិនៃដំណើរការ
សមត្ថភាពធ្វើមាត្រដ្ឋាន៖ ទូករលាយជារង្វង់ច្រើនស្រទាប់បង្កើនសមត្ថភាពបាច់បាន 3–5 ដងបើធៀបនឹងការរចនាធម្មតា។
ប្រសិទ្ធភាព៖ ការគ្រប់គ្រងដោយប្រើម៉ាស៊ីនបូមធូលី និងកម្ដៅដ៏ច្បាស់លាស់អាចឱ្យមានអត្រាកម្ចាត់ភាពមិនបរិសុទ្ធខ្ពស់។
គុណភាពគ្រីស្តាល់៖ អត្រាលូតលាស់យឺតខ្លាំង (<3 mm/h) ធានាបាននូវដង់ស៊ីតេផ្លាស់ទីតាំងទាប និងភាពសុចរិតនៃគ្រីស្តាល់តែមួយ។
តេលូរីញ៉ូម 7N ចម្រាញ់នេះ គឺមានសារៈសំខាន់សម្រាប់កម្មវិធីកម្រិតខ្ពស់ រួមទាំងឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ កោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យស្តើង CdTe និងស្រទាប់ខាងក្រោមស៊ីមីកុងដុកទ័រ។
ឯកសារយោង៖
បង្ហាញពីទិន្នន័យពិសោធន៍ពីការសិក្សាដែលបានពិនិត្យដោយអ្នកជំនាញលើការបន្សុទ្ធតេលូរីញ៉ូម។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ២៤ ខែមីនា ឆ្នាំ ២០២៥