ដំណើរការសំយោគរូបវន្តនៃស័ង្កសីសេលេនីតភាគច្រើនរួមបញ្ចូលផ្លូវបច្ចេកទេសដូចខាងក្រោម និងប៉ារ៉ាម៉ែត្រលម្អិត៖

១. ការសំយោគសូលវ៉ូថម័រ

១. ឆៅសមាមាត្រសម្ភារៈ​
ម្សៅស័ង្កសី និងម្សៅសេលេញ៉ូម ត្រូវបានលាយបញ្ចូលគ្នាក្នុងសមាមាត្រម៉ូល 1:1 ហើយទឹកដែលគ្មានអ៊ីយ៉ូដ ឬអេទីឡែនគ្លីកូល ត្រូវបានបន្ថែមជាឧបករណ៍រំលាយ 35.

២។លក្ខខណ្ឌប្រតិកម្ម

សីតុណ្ហភាពប្រតិកម្ម៖ ១៨០-២២០អង្សាសេ

o ពេលវេលាប្រតិកម្ម៖ ១២-២៤ ម៉ោង

o សម្ពាធ៖ រក្សាសម្ពាធដែលបង្កើតដោយខ្លួនឯងនៅក្នុងកំសៀវប្រតិកម្មដែលបិទជិត
ការរួមបញ្ចូលគ្នាដោយផ្ទាល់នៃស័ង្កសី និងសេលេញ៉ូម ត្រូវបានសម្របសម្រួលដោយកំដៅ ដើម្បីបង្កើតគ្រីស្តាល់ស័ង្កសីសេលេញ៉ូមខ្នាតណាណូ 35.

៣.ដំណើរការក្រោយការព្យាបាល​
បន្ទាប់ពីប្រតិកម្ម វាត្រូវបានបង្វិលក្នុងម៉ាស៊ីន centrifuge លាងសម្អាតជាមួយអាម៉ូញាក់ពនលាយ (80 °C) មេតាណុល និងសម្ងួតដោយបូមធូលី (120 °C, P₂O₅)។ប៊ីថេនម្សៅ > 99.9% ភាពបរិសុទ្ធ 13.

2. វិធីសាស្ត្រដាក់ចំហាយគីមី

១.ការព្យាបាលវត្ថុធាតុដើមជាមុន

o ភាពបរិសុទ្ធនៃវត្ថុធាតុដើមស័ង្កសីគឺ ≥ 99.99% ហើយដាក់ក្នុងកែវក្រាហ្វីត

o ឧស្ម័នអ៊ីដ្រូសែនសេលេនីតត្រូវបានដឹកជញ្ជូនដោយឧស្ម័នអារហ្គុន។

២។ការគ្រប់គ្រងសីតុណ្ហភាព

o តំបន់ហួតស័ង្កសី៖ ៨៥០-៩០០°C

o តំបន់​ដាក់​សារធាតុ​រាវ៖ ៤៥០-៥០០°C
ការដាក់ចំហាយស័ង្កសី និងអ៊ីដ្រូសែនសេលេនីតតាមទិសដៅនៃជម្រាលសីតុណ្ហភាព ៦។

៣.ប៉ារ៉ាម៉ែត្រឧស្ម័ន

o លំហូរអាហ្គុង៖ ៥-១០ លីត្រ/នាទី

o សម្ពាធដោយផ្នែកនៃអ៊ីដ្រូសែនសេលេនីត៖០.១-០.៣ អាតូម
អត្រា​នៃ​ការ​ដាក់​អាច​ឡើង​ដល់ 0.5-1.2 mm/h ដែល​បណ្តាល​ឱ្យ​មាន​ការ​បង្កើត​ជា​ស័ង្កសី​ស៊ីលីនែត​ពហុ​គ្រីស្តាលីន 6 កម្រាស់ 60-100 mm។.

៣. វិធីសាស្ត្រសំយោគដោយផ្ទាល់ដំណាក់កាលរឹង

១. ឆៅការដោះស្រាយសម្ភារៈ​
ដំណោះស្រាយស័ង្កសីក្លរួត្រូវបានធ្វើប្រតិកម្មជាមួយនឹងដំណោះស្រាយអាស៊ីតអុកស៊ីលីក ដើម្បីបង្កើតជាទឹកភ្លៀងស័ង្កសីអុកស៊ីឡាត ដែលត្រូវបានសម្ងួត កិន និងលាយជាមួយម្សៅសេលេញ៉ូមក្នុងសមាមាត្រ 1:1.05 ម៉ូឡារ 4។.

២។ប៉ារ៉ាម៉ែត្រប្រតិកម្មកម្ដៅ

o សីតុណ្ហភាពឡចំហាយបំពង់សុញ្ញកាស៖ ៦០០-៦៥០°C

o ពេលវេលារក្សាកំដៅ៖ ៤-៦ ម៉ោង
ម្សៅស័ង្កសីសេលេនីតដែលមានទំហំភាគល្អិត 2-10 μm ត្រូវបានបង្កើតឡើងដោយប្រតិកម្មសាយភាយដំណាក់កាលរឹង 4.

ការប្រៀបធៀបដំណើរការសំខាន់ៗ

ចំណុចសំខាន់ៗនៃការគ្រប់គ្រងដំណើរការពិសេស៖ វិធីសាស្ត្រសូលវ៉ូថមលត្រូវបន្ថែមសារធាតុសកម្មដូចជាអាស៊ីតអូលីកដើម្បីគ្រប់គ្រងរូបរាង 5 ហើយការដាក់ចំហាយទឹកតម្រូវឱ្យភាពរដុបនៃស្រទាប់ខាងក្រោម < Ra20 ដើម្បីធានាបាននូវឯកសណ្ឋាននៃការដាក់ 6.

១. ការដាក់ចំហាយទឹករូបវន្ត (PVD).

១.ផ្លូវបច្ចេកវិទ្យា

o វត្ថុធាតុដើមស័ង្កសីសេលេនីតត្រូវបានហួតក្នុងបរិយាកាសសុញ្ញកាស ហើយដាក់លើផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោមដោយប្រើបច្ចេកវិទ្យាស្ព្រាតទ័រ ឬហួតដោយកម្ដៅ12។

o ប្រភពហួតនៃស័ង្កសី និងសេលេញ៉ូមត្រូវបានកំដៅទៅនឹងជម្រាលសីតុណ្ហភាពផ្សេងៗគ្នា (តំបន់ហួតស័ង្កសី៖ ៨០០–៨៥០ អង្សាសេ តំបន់ហួតសេលេញ៉ូម៖ ៤៥០–៥០០ អង្សាសេ) ហើយសមាមាត្រស្តូគីយ៉ូម៉ែត្រិចត្រូវបានគ្រប់គ្រងដោយការគ្រប់គ្រងអត្រាហួត។​១២។

២។ការគ្រប់គ្រងប៉ារ៉ាម៉ែត្រ

o សម្ពាធខ្យល់៖ ≤1×10⁻³ Pa

o សីតុណ្ហភាពមូលដ្ឋាន៖ ២០០–៤០០°C

អត្រា​នៃ​ការ​ដាក់​ប្រាក់៖០.២–១.០ ណាណូម៉ែត្រ/វិនាទី
ខ្សែភាពយន្តស័ង្កសីសេលេនីតដែលមានកម្រាស់ 50–500 nm អាចត្រូវបានរៀបចំសម្រាប់ប្រើក្នុងអុបទិកអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ 25.

2វិធីសាស្ត្រកិនបាល់មេកានិច

១.ការដោះស្រាយវត្ថុធាតុដើម

o ម្សៅស័ង្កសី (ភាពបរិសុទ្ធ≥99.9%) ត្រូវបានលាយជាមួយម្សៅសេលេញ៉ូមក្នុងសមាមាត្រម៉ូល 1:1 ហើយដាក់ចូលទៅក្នុងពាងម៉ាស៊ីនកិនបាល់ដែកអ៊ីណុក 23.

២។ប៉ារ៉ាម៉ែត្រដំណើរការ

o រយៈពេលកិនបាល់៖ ១០–២០ ម៉ោង

ល្បឿន៖ ៣០០–៥០០ ជុំ/នាទី

o សមាមាត្រ​គ្រាប់៖ 10:1 (បាល់​កិន​ហ្សីកូញ៉ា)។
ភាគល្អិតណាណូស័ង្កសីសេលេនីតដែលមានទំហំភាគល្អិត 50–200 nm ត្រូវបានបង្កើតឡើងដោយប្រតិកម្មយ៉ាន់ស្ព័រមេកានិច ជាមួយនឹងភាពបរិសុទ្ធ >99% 23.

៣. វិធីសាស្ត្រ​ដុត​ដោយ​ចុច​ក្តៅ

១.ការរៀបចំសារធាតុផ្សំជាមុន

o ម្សៅណាណូស័ង្កសីសេលេនីត (ទំហំភាគល្អិត < 100 nm) សំយោគដោយវិធីសាស្ត្រសូលវ៉ូទែមលជាវត្ថុធាតុដើម 4.

២។ប៉ារ៉ាម៉ែត្រស៊ីនធើរ

សីតុណ្ហភាព៖ ៨០០–១០០០°C

សម្ពាធ៖ ៣០–៥០ MPa

o រក្សាភាពកក់ក្តៅ៖ ២–៤ ម៉ោង
ផលិតផលនេះមានដង់ស៊ីតេ > 98% ហើយអាចត្រូវបានកែច្នៃទៅជាសមាសធាតុអុបទិកទ្រង់ទ្រាយធំដូចជាបង្អួចអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ ឬកែវភ្នែក 45.

៤. អេពីតាក់ស៊ីធ្នឹមម៉ូលេគុល (ធនាគារ MBE).

១.បរិស្ថាន​បូមធូលី​ខ្ពស់​ខ្លាំង

o សម្ពាធខ្យល់៖ ≤1×10⁻⁷ Pa

o ធ្នឹមម៉ូលេគុលស័ង្កសី និងសេលេញ៉ូម គ្រប់គ្រងលំហូរតាមរយៈប្រភពហួតនៃធ្នឹមអេឡិចត្រុងបានយ៉ាងច្បាស់លាស់6។

២.ប៉ារ៉ាម៉ែត្រកំណើន

o សីតុណ្ហភាពមូលដ្ឋាន៖ ៣០០–៥០០°C (ស្រទាប់ខាងក្រោម GaAs ឬ sapphire ត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅ)។

អត្រាកំណើន៖០.១–០.៥ ណាណូម៉ែត្រ/វិនាទី
ខ្សែភាពយន្តស្តើងស័ង្កសីសេលេនីតគ្រីស្តាល់តែមួយអាចត្រូវបានរៀបចំក្នុងចន្លោះកម្រាស់ 0.1–5 μm សម្រាប់ឧបករណ៍អុបតូអេឡិចត្រូនិចដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់56.